鄭楊子合肥皓宇芯光科技有限公司產(chǎn)品負(fù)責(zé)人
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自主HHG技術(shù)讓國(guó)產(chǎn)EUV光源破局啟航
未來(lái)十年,全球制造業(yè)將從“光刻”走向“光智造”。過(guò)去,這一領(lǐng)域幾乎被國(guó)外企業(yè)壟斷?,F(xiàn)今,我們正一步步打破技術(shù)壁壘,把原本只能在大科學(xué)裝置中實(shí)現(xiàn)的能力,變成實(shí)驗(yàn)室可用、產(chǎn)線可集成的設(shè)備。[全文]
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